南大光電：多款A(yù)rF光刻膠產(chǎn)品正在下游客戶處驗(yàn)證|全球新動態(tài)

2023-04-21 16:21:01來源：證券時(shí)報(bào)·e公司

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南大光電在互動平臺表示，公司正在認(rèn)證的ArF光刻膠主要集中在90nm~28nm工藝節(jié)點(diǎn)，目前有多款產(chǎn)品正在下游客戶處驗(yàn)證。規(guī)模量產(chǎn)時(shí)間需要根據(jù)客戶訂單情況確定。公司制備ArF光刻膠的核心原材料由公司自主研發(fā)生產(chǎn)。

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